太阳能光伏系统，是指利用光伏半导体材料的光生伏打效应而将太阳能转化为直流电能的设施。光伏设施的核心是太阳能电池板。用来发电的半导体材料主要有：单晶硅、多晶硅、非晶硅及碲化镉等。
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现今，在碳达峰和碳中和提出的背景下，光伏行业迎来大发展，越来越多的企业专注于产品技术的测验法及生产过程的优化。与此同时“降本”已成为光伏能否超越其他清洁能源，成为主要发电设施的重要一步。而真空技术与产品能够更有效地帮助用户实现太阳能电池板的大规模自动化生产并提高利润率，为企业达到降本增效的作用。
太阳能光伏行业的链条较长，大部分的工艺需要应用到真空技术。
真空技术用在单晶硅和多晶硅的烧结炉中，可防止杂质污染，防止和其他气体的反应，提高拉晶纯度。在PE刻蚀扩散中也需用到真空设备。
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在生产光伏模块工艺时，需要利用真空技术实现高效而精准的工件搬运，特别是一些极其敏感的工件，必须轻柔抓取，避免在其表面留下痕迹或对其造成污染，包括硅片、电池、封装线和成品模块等工件。
光伏行业主要用到以下类型真空泵：旋片式真空泵、罗茨真空泵、螺杆泵、涡旋泵和罗茨机组等。
