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独走管式PECVD、RPD工艺路线,捷佳伟创要偏离人群了吗?

日期:2021-09-06    来源:东吴光伏圈

国际太阳能光伏网

2021
09/06
14:12
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关键词: 捷佳伟创 光伏电池 管式异质结PECVD工艺电池

今天我们聊聊捷佳伟创

首先是公司的基本情况,捷佳伟创TOPCon和HJT路线都做,双线布局。不过,在HJT的TCO透明导电膜沉积环节,钧石和迈为用的都是PVD,但公司用的是RPD。捷佳伟创认为,对提高转换效率来说,RPD是必经之路。如果将来钙钛矿需要用透明导电膜,RPD会是一个必然选择,因为PVD是很难承担该种工艺要求,且超高效25%以上的电池也只能依靠RPD。

另外就是在非晶硅沉积环节,如果用PECVD方案,之前大家用的都是板式PECVD,但捷佳伟创成功折腾出了管式PECVD,震惊了大家,这也是前段时间捷佳伟创股价大幅上涨的原因。目前在非晶硅沉积环节,捷佳伟创已经可以提供三种技术路线设备,包括:

1、板式PECVD+RPD/PVD

2、管式PECVD+RPD/PVD

3、Cat-CVD+PVD/RPD

具体来说,就是8月18日下午,捷佳伟创首批管式异质结PECVD工艺电池顺利下线,是全球HJT电池片采用管式PECVD的首创。根据公司的说法,管式PECVD具有投资成本低、占地面积小、开机率高、维护保养成本低等特点,尤其适用于大批量HJT生产线,必将成为异质结电池降本增效道路上的里程碑事件。

PECVD,是指Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition——等离子体增强化学气相沉积法,是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生化学反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积PECVD。PECVD有两种,一是直接式,即基片位于一个电极上,直接接触等离子体。二是间接式,即基片不接触激发电极。在晶硅电池制造领域,直接式PECVD设备一般指的是管式PECVD,而间接式PECVD设备一般指的是板式PECVD。

不管是直接式还是间接式PECVD,普遍都用来生成用于减反射和对硅片起到钝化作用的氮化硅薄膜,而PECVD设备的性能指标主要包括:生长薄膜的均匀性、致密性以及设备产能。一般情况下,板式PECVD的产能及薄膜均匀性优于管式PECVD,但是管式PECVD的薄膜致密性及钝化效果优于板式PECVD。

在PERC电池时代,也曾出现过板式与管式PECVD之争。据悉,PERC技术大规模产业化主要得益于梅耶博格推出了量产机型的板式PECVD,但此后捷佳伟创推出了管式PECVD,并对管径进行持续做大更新,从而持续降低PERC单GW投资成本,最终将板式PECVD淘汰。所以,管式设备其实是捷佳伟创的强项了。

但是,在今年4月份的券商等机构的调研中,迈为股份是不认可板P的,说是两年多前已经做过试验,以其对HJT的理解来看,管式PECVD是没有什么希望的。不过在8月的时候,迈为股份在调研中也说,PERC时代需要用到镀膜设备,以管式为主;HJT时代以板式为主,公司有路径依赖的话会沿着路径发展,技术路线切换有沉没成本,各家沿着自己擅长的方向进行。

根据捷佳伟创的说法,板式的组合方式不灵活,从头到尾是串行的,所以只能提供92%的开机率,如果自动化设备出问题会影响开机率,而管式的能耗、功率控制都有优势。但管P的应用也存在一些难题:管式设备在应用到HJT制备时需要解决镀膜问题,它对硅片有损伤,需要用高频和中频的电源,所以有损失。技术上需要用射频来镀膜,射频导入平板比较容易,但是导入管式就比较难。2021年1月之前没有1MW以上的射频导入镀膜的设备研发。捷佳伟创是因为以前有管式的技术准备,结合管式和板式HJT的经验,射频导入取得了很好的技术突破。当然管式还有很多的问题,比如说载具的持续量产使用,粉尘的处理等。

总体而言,管P可以让HJT单GW的成本压缩到3-3.5亿左右,有望在效率、成本、稼动率上取得领先,是今年HJT产业非常重要的设备进展。当前,HJT各种技术路线都有进展,无论是设备端还是材料端。而即将举办的第六届异质结领跑量产与供应链配套协作国际论坛,不论是板P、管P、PVD、RPD、银包铜、电镀铜、半片半棒、高精串焊、先进封装等技术,均邀请了国内国际顶尖机构与专家进行分享,敬请期待!


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