ALD技术通常用于沉积薄而均匀的无定形氧化铝(Al2O3)作为高效PERC(钝化发射极和背面电池)技术的背面钝化层。
Amtech首席执行官兼总裁Fokko Pentinga表示：“关于这个项目，我们正在为PERC生产线升级提供设备并协助客户进行PERC量产和生产线的整合。光伏生产商们面临着极端的价格压力，因此对电池能带隙窄的、质量更好的电池的需求越来越大。达到最高的A级电池生产线产量对于确保这些先进生产线的良好利润率至关重要。在沉积过程中，Al2O3的包裹层会导致电池效率降幅高达0.2%以及正面颜色的变化。通过使用Al2O3、最高级别的A级电池以及没有包裹层的稳定沉积工艺，我们的ALD设备获得了最高的PERC电池效率，解决了光伏制造商们面临的挑战。我们解决的A级电池的另一项挑战是无划痕生产用于背面封盖和正面ARC的SiNx 沉积层。我们使用了等离子体增强化学气相沉积法设备的无划痕解决方案发展迅猛，出货量和未交货订单量总计超过1GW。“
上月Amtech报告称，2018财年一季度末的未交货太阳能订单为3,930万美元，低于上一季度的8,140万美元，由于未交货订单的设备出货创造了更高的营业收入，所以新订单量有所下降。
