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“拉普拉斯小舟”:大尺寸硅片的“诺亚方舟”

日期:2020-08-11    来源:拉普拉斯装备

国际太阳能光伏网

2020
08/11
11:30
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关键词: SNEC 拉普拉斯 光伏组件

客户A:我们的方阻均匀性很难控制,尤其是高方阻时中心和边角差异很大。

客户B:扩散的粘片很严重啊,尤其是大尺寸,166现在都已经这样了,那210怎么办?现在好多这种EL不良。

客户C:我们一直在放大石英舟卡槽间距,均匀性会改善一点,但产能损失太大了。

客户D:卡槽印,绕扩等不良太多了,好难啊。

客户们:你们LAPLACE水平放片是如何实现的,水平是如何避免上述问题的。“拉普拉斯小舟”长什么样啊?

石英供应商们:你们某某同行的"拉普拉斯小舟"就是我们家提供的。

这就是刚刚结束的SNEC展会上,我和同事们被问到最多的问题。那么今天我就来揭开客户及供应商口中“拉普拉斯小舟”的神秘面纱。

大尺寸更加符合了当今硅片市场的发展趋势,但也对设备提出了更高的挑战尤其是热制程设备。硅片在高温下产生形变,尤其是18X或者210硅片,在尺寸进一步加大后硅片受热弯曲,相邻硅片甚至会贴合在一起,严重影响了产品的均匀性,进而制约了大尺寸产品的发电效率进一步提升。拉普拉斯作为一家新兴的光伏设备制造厂商,公司自2016年成立之初就着手硅片大尺寸、薄片化后热制程和配套自动化设备研究。基于理论和实践(半导体扩散从6寸到8寸时,扩散从竖直到水平),我司开发了低压水平扩散/镀膜设备。全系列设备采用水平放置方式,硅片背靠背水平放置,贴合紧密,同步通过分析模拟高温下硅片形变量,合理设计承载小舟(如下图所示),根据硅片在高温下的形变程度优化小舟卡尺承接点,能够最大程度降低硅片形变量,减少了绕扩散,更加适用于超大超薄硅片。于此同时我司产品采用低压水平放置方式下,分子自由程增大,减少了气体的湍流,提高了扩散均匀性和稳定性,尤其对于大尺寸,电池改善尤为明显;同时水平放置硅片对气流的影响较小,气流方向与硅片平行,气流可传输更远,有效炉管更长,产能更大,进一步增加了机台利用率,确保大尺寸下的大产能。

新老客户的火爆询问,从供应商得知同行也都在下单”拉普拉斯小舟“,这都侧面说明传统方式在解决大尺寸硅片量产所存在的问题。如下图所示,即使硅片变大到210,”拉普拉斯小舟“依旧能够保持所有硅片相同间距,不搭片。更大的尺寸给了光伏的发展带来更大的空间,“拉普拉斯小舟”作为大尺寸硅片热制程的完美解决方案,定会成为光伏的“诺亚方舟”驶向更美好的未来。

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