Amtech系统旗下子公司、原子层沉积(ALD)设备专门企业SoLayTec日前获得三套太阳能电池ALD系统后续订单。

Amtech系统表示，公司预计在未来六个月内可以向该亚洲太阳能电池制造商交付订单。

Amtech系统首席执行官及总裁Fokko Pentinga表示，“最新的订单也再次显示了SoLayTec的空间ALD系统的优秀性能在太阳能领域内所得到的认可，以及其对公司客户的PERC电池工艺的购置成本的改善。”

SoLayTec此前曾公布2016年内的一系列新工具订单，客户范围包含p型PERC电池、n型IBC和双面电池等。相关客户来自中国大陆、日本、欧洲和台湾等市场。

ALD技术通常用来进行均匀非晶氧化铝(Al2O3)薄层的沉积，以作为PERC太阳能电池的背表面钝化工艺。