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按照PECVD系统所使用的频率范围的分类

日期:2016-09-23  

国际太阳能光伏网

2016
09/23
13:49
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关键词: PECVD系统 岛津公司 太阳能百科

■0Hz:直流间接法——OTB公司

■40KHz:Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控溅射系统

■250kHz:岛津公司的板式直接法系统

■440kHz:Semco公司的板式直接法

■460kHz:Centrotherm公司管式直接法

■13.6MHz:Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

■2450MHz:Roth&Rau公司的板式间接法系统。

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