Amtech Systems旗下子公司、原子层沉积(ALD)设备专家SoLayTec，日前推出其第二代用于PERC电池的InPassion ALD设备。
SoLayTec新的第二代InPassion ALD产品证明较PECVD AIO×电池效率高0.2%。图片来源：SoLayTec
根据该公司，结合最新的直接使用PECVD，其每年可生产高达130MW，其中包括集成退火工艺。
SoLayTec日前将该新产品誉为资本支出方面“极具成本效益的解决方案”，并且日前发布客户数据来支持这一声明。第二代模型的主要改进是机器的正常运行时间和净产量。该公司还称，TMA使用和效率的提高使新产品超越竞争对手。
SoLayTec的联合创始人兼营销和销售总监Roger Görtzen表示：“对于PERC集成，仅氧化铝ALD机器不是完整的解决方案。客户还需要一个PECVD旋盖机覆盖氧化铝层。到目前为止，客户需要至少六个直接使用PECVD的管来满足ALD 3600wph的产量。自从上海第十届SNEC展会以来，(Amtech子公司)Tempress推出SPECTRUM PECVD，其至少与InPassion ALD有着同样的净产量。因此，现在在资本支出方面，我们为客户提供一个极具成本效益的解决方案。”
在Intersolar Europe 2016期间，领先的光伏电池制造商韩华Q CELLS公布使用InPassion ALD比较其MW-PECVD系统的结果。比较两种技术发现，SoLayTec产品对于多晶硅PREC较MW-PECVD AIO×提供的效率高0.15-0.25%。
正如韩华Q CELLS研究论文表示，通过“优化工艺流程并将沉积后退火集成到SiNx封盖工艺”，评估显示这一效率得以实现。该技术论文还发现，SoLayTec产品证明改善钝化质量可使Voc增益在夜间保持不变。
Görtzen在一份声明中表示：“在SoLayTec，我们对这一结果感到非常自豪，在重要的一级电池制造商证实了我们的效率利益。对于我们客户，这提供一个更广泛的机会来使用我们的ALD系统，除了PERC应用，还用于其他高效电池概念，如n-PERT、IBC、PERL以及最新的Topcon方法。”
Tempress和SoLayTec都是在研究机构imec的Industrial Affiliation计划的一部分。在Intersolar，imec及其合作伙伴呈现其大面积n型IBC电池最新的22.8%的成果。该公司解释道，imec已经证明ALD氧化铝是对于p+发射极良好的钝化材料，但在此工作中，SoLayTec的ALD对于钝化和n+发射极发挥重要作用。在过去，标准的钝化方法总是通过使用Wet thermal SiOx，但现在通过使用ALD氧化铝层，对于IBC概念也有+0.3%的增益。
SoLayTec最近对于一位亚洲客户进行PERC集成。这一标准多晶硅电池生产线向单晶PREC提升，实现五万PREC太阳能电池的日产量，电池效率稳定在20.6%。
PV CellTech 2017会议，特别关注太阳能电池制造，将于2017年三月十四日至十五日在马来西亚槟榔屿举办。关于如何参与塑造会议内容的更多信息，也可以在PV CellTech 2017网站上找到。议程细节，以及解释所涉及的基本原理和方法的专题，将于八月初在PV-Tech公布，敬请关注。
